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全自動(dòng)化合物解理線體機(jī)（劃片，裂片，貼膜）

全自動(dòng)化合物解理線體機(jī)（劃片，裂片，貼膜）

產(chǎn)品特點(diǎn) 1、根據(jù)產(chǎn)品不同功能、不同位置光源亮度獨(dú)立設(shè)定，可有效解決產(chǎn)品差異；
2、主要功能：料盒上料（ 25個(gè)鐵環(huán)），化合物解理劃片，全自動(dòng)貼膜，全自動(dòng)裂片；
3、 工業(yè)視覺(jué)，晶圓輪廓及Notch口高效識(shí)別；
4、兼容晶圓，巴條，氮化鉀巴條，CELL等不同類型產(chǎn)品全自動(dòng)作業(yè)；
5、SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持SECS-GEM通信。

產(chǎn)品應(yīng)用

芯片領(lǐng)域主要機(jī)型覆蓋，光學(xué)器件，激光器芯片，光通信芯片等領(lǐng)域。



產(chǎn)品參數(shù)

內(nèi)容

技術(shù)參數(shù)

襯底材質(zhì)

GaAs、InP、GaN、SiC、Si等襯底

加工尺寸

4/6/8英寸

巴條芯片

巴條尺寸4.5mm*30mm，單個(gè)芯片0.10mm*4.5mm

X-Y平臺(tái)行程

160mm*160mm

定位精度

重復(fù)定位精度：±2um；定位精度：±2μm

傳輸系統(tǒng)

Load port, robot, aligner


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